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潔凈室主要測試方法

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潔凈室主要測試方法

A. 3.1 風量或風速測試應符合下列規定:

1 對于單向流潔凈室,采用室截面平均風速和截面乘積的方法確定送風量,測點位于高效過濾器出風面約 150mm~300mm,垂直氣流處的截面作為采樣截面,截面上測點間距不宜大于0.6m,測點數不應少于 4 點,所有讀數的算術平均值作為平均風速。

2 對于非單向流潔凈室,采用風口或風管法確定送風量,可按現行國家標準《通風與空調工程施工質量驗收規范》GB 5024337規定的方法執行.

A.3.2 靜壓差測試應符合下列規定:

1 靜壓差的測定應在潔凈室(區)的風速、風量和檢測合格后進行,并應在所有的門關閉時檢測。

2 儀器宜采用各種微差壓力計,儀表靈敏度應小于1.0P.

A.3.3 已安裝過濾器檢漏測試應符合下列規定:

1 檢漏方法有光度計法和粒子計數器法。

2 在過濾器上風側應引入測試用氣溶膠,在過濾器下風側用光度計或粒子計數器的等動力采樣頭放在距離被檢過濾器表面掃描速度移動 , 2cm~3cm 處,以 5mm/s~15mm/s 的掃描速度移動,并應注意安裝交接處的掃描。

A.3.4 密閉性測試應用于確認有無被污染的空氣從相鄰潔凈室 (區)或非潔凈室(區)通過吊頂、隔墻等表面或門、窗滲漏入潔凈室 (區)。一般適用于1級至 5 級的潔凈室(區)進行測試。采用光度計法和粒子計數器法進行測試。

A. 3.5 潔凈度的檢測應符合下列規定:

1 使用采樣量大于 1L/min 的光學粒子計數器,在儀器選用時應考慮粒徑鑒別能力、粒子濃度適用范圍和計數效率。儀器應有有效的標定合格證書。

2 最少采樣點數應按下式計算:

NL= A0.5       (A. 3. 5-1)

式中: NL -- 最少采樣點;

        A--潔凈室或被控潔凈區的面積(m2)。

3 采樣點應均勻分布于潔凈室或潔凈區的整個面積內,并位于工作活動的高度,活動高度宜距地面 0.8m;每個采樣點的最小采樣時間為 1min。

4 每一采樣點的每次采樣量應至少為2L,采樣量應按下式

計算:

Vs =20/Cn.m  * 1000  (A. 3. 5-2)

式中:Vs--每個采樣點的每次采樣量,以L 表示;當 Vs很大時,可使用順序采樣法;

Cn.m -被測潔凈室空氣潔凈度等級的被測粒徑的限值 (pc/m');

20-在規定被測粒徑粒子的空氣潔凈度等級限值時,可測到的粒子顆數(pc).

5 當潔凈室或潔凈區僅有一個采樣點時,則在該點應至少采樣3次。

A.3.6 對超出等級范圍粒子的檢測應符合下列規定:

1 在產品生產工藝有要求時,可按等級粒徑范圍之外的粒子濃度規定空氣潔凈度的水平。此類粒子的最大允許濃度和檢測方法應由客戶與建造商協商確定。

2 當需評價小于 0.1μm 的粒子造成的污染危險時,應采用符合這類粒子具體特性的采樣方法和裝置;可獨立應用 U 描述符說明超微粒子濃度,也可將它作為懸浮粒子空氣潔凈度等級的補充說明。

U 描述符用“U(x,y)”表示,其中 x 為超微粒子的最大允許濃度(pc/m3),y 為以微米計的粒徑。例如:粒徑范圍等于或大于 0.01μm 的最大允許超微粒子的濃度為 140000 個/m3,應表示為“U(140000,0.01μm)”。

3 當需評價大于 5μm 的粒子造成的污染危險時,應采用符合這類粒子具體特性的采樣裝置和方法??瑟毩?M 描述符說明大于 5μm 的粒子濃度,也可將它作為懸浮粒子空氣潔凈度等級的補充說明。

M 描述符用“M(a,b);c”表示,其中 a 為大粒子的最大允許濃度(pc/m3),b 為與規定的大粒子測量方法相應的當量直徑(μm), c 為規定的測量方法。

例如:采用顯微鏡對多級撞擊采樣器采集的粒子進行檢測,測量得到 10μm~20μm 粒徑范圍的懸浮粒子濃度為1000個/m3,則· 39 ·用 M 描述符表示為“M(1000;10μm~20μm);多級撞擊采樣器、顯微鏡測定粒徑并計數”。

A. 4 監測

A. 4.1 按照雙方協議書的規定進行空氣中懸浮粒子濃度和其他參數的監測。

A. 4.2 雙方協議書中應明確測量空氣懸浮粒子濃度最少采點、每次最少的空氣采樣量、采樣時間、每個采樣點的測量次數、量時間間隔、被計數粒子的粒徑,以及粒子數的限值。

A. 4.3 當監測結果超過規定的限值時,則應認定設施不符合要求,應進行修正;修正后應再進行認證檢測。當監測結果在規定限值內,可繼續監測。

A.5 認證

A.5.1 按雙方協議書的規定及第 A. 2 節的要求,按第 A.3 節的方法進行測試,當測試結果在規定的限值之內時,可認定該潔凈室符合規定要求,當測試結果超過規定的限值,可認定該潔凈室不符合要求,應進行改進,在完成改進工作之后,應進行再認證。

A. 5.2 記錄數據評價應符合下列規定:

1 在空氣潔凈度測試中,當測點在1點~10點時,應計算平均中值、標準偏差、標準誤差和由全部采樣點的平均粒子濃度導出95%置信上限值。

2 當采樣點超過 10 點時,應計算算術平均值,并按算術平均值進行空氣潔凈度等級的評價。

A. 5.3 每次性能測試或再認證測試應做記錄,并應提交性能合格或不合格的綜合報告。測試報告應包括下列內容:

1 測試機構的名稱、地址。

2 測試日期和測試者簽名。

3 執行標準的編號及標準出版日期。

4 被測試的潔凈室或潔凈區的地址、采樣點的特定編號及坐標圖。

5 被測潔凈室或潔凈區的空氣潔凈度等級、被測粒徑、被測潔凈室所處的狀態、氣流流型和靜壓差。

6 測量用的儀器編號和標定證書,測試方法細則及測試中的特殊情況。

7 測試結果包括在全部采樣點坐標圖上注明所測的粒子濃度或沉降菌、浮游菌的菌落數。

8 對異常測試值進行說明及數據處理。

9 注明上次的測試日期。

10 設施的測試文件可作為下次監測計劃的依據。

A. 5.4 測試機構應提交潔凈室檢驗證書、再檢驗證書。

 

 



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